Mikroschemų technologijos IG struktūrų metalizacijos procesai

Mikroschemų technologijos IG struktūrų metalizacijos procesai.
• Metalizacija - tai procesas, kurio metu IG komponentai tarpusavyje yra sujungiami.
• Šio proceso metu sukuriama plona metalo sluoksnio plėvelė(Šie metaliniai arba lydinių sluoksniai (Al, Cu, Ag, Au, Pt ir kiti)), kuri tarnauja kaip reikiama laidininko struktūra, kuriuo sujungiami įvairūs komponentai, esantys ant mikroschemos.
• Metalizacijos būdu galima sujungti tūkstančius prietaisų, naudojant smulkių linijų metalo struktūras.
• Metalo plėvelės gali būti formuojamos įvairiais metodais, pvz. cheminio garų nusodinimo (CVD) ir fizikinio garų nusodinimo (PVD) metodais.
Metalizacijos reikalavimai:
• Puikus sukibimas su silicio oksidais (izoliatoriais tarp metalizacijos sluoksnių).
• Didelis galingumas, maža varža.
• Maža kontakto varža tarp metalo ir puslaidininkio.
• Paprasti metalizacijos sluoksnių dengimo procesai.
• Nedidelis jautrumas korozijai ir ilgas tarnavimo laikas.
• Puikus kontaktas su vielos jungtimis.
• Galimybė integruoti sluoksnius, sudėtus vienas ant kito.
• Didelis metalo grynumas.
Metalizacijos taikymas ir metodai
Taikymas:
• Naudojamas MOP tranzistorių užtūroms sujungti.
• Naudojamas ominiams kontaktams gaminti.
• Tarpusavio jungtims.
• Grandynų kontaktų išvedimas į išorę.
Metodai:
• taškymas (SPUT).
• Garinimas (EVA).
• Fizikinis nusodinimas iš garų (PVD).
• Cheminis nusodinimas iš garų (CVD)
Metalizacijos problemos
1. Nusodinimas:
• Priemaišos plėvelėse, sukibimo ir storio nevienodumas. Priemaišų kiekį plėvelėse galima sumažinti naudojant gryno garinimo, taškymo, aukšto vakuumo nusodinimus ir palaikant švarius paviršius. Dar pasitaiko nusodinimo įtrūkimai, kurie atsiranda dėl prasto sukibimo arba paviršiaus nelygumų.
2. Apdorojimas:
• Įvairiuose integrinių grandynų apdorojimo etapuose naudojama...

Daugiau informacijos...

★ Klientai rekomenduoja

Šį rašto darbą rekomenduoja mūsų klientai. Ką tai reiškia?

Mūsų svetainėje pateikiama dešimtys tūkstančių skirtingų rašto darbų, kuriuos įkėlė daugybė moksleivių ir studentų su skirtingais gabumais. Būtent šis rašto darbas yra patikrintas specialistų ir rekomenduojamas kitų klientų, kurie po atsisiuntimo įvertino šį mokslo darbą teigiamai. Todėl galite būti tikri, kad šis pasirinkimas geriausias!