Joninės–reaktyvinės technologijos

Jono pluošto ėsdinimo įrenginio reikalavimai.
Jono pluoštas, kuris išstumia atomus turi turėti vienoda tankūmą ir būti tame pačiame energijos bangos ilgyje, kad aprūpintų vienodą ėsdinimą. Pluoštas turi būti reguliuojamas sistemos viduje, kad neleistų pluoštui pasklisti ir jis turi gerai vizuoti, kad parūpintų gerą valdymo kampą. Plokštelė turi būti vėsi, tai yra jos temperatūra turi būti žemesne nei 120°C. Ėsdinimo kameroje, spaudimas turi būti pakankamai žemas, kad neleistų pluoštui išsisklaidyti ir pursluoti. Paveiksle 1.1 parodyta jonų frezavimo sistemos schema.
Pav. 1.1 Jonų frezavimo sistemos vykdymo schema
Jonų ėsdinimo procesas prasidėda išmetimo kameroje, kur įkaitintas volframo katodas nukreipia elektronus link kameros sienos. Anodas nustatomas nuo 30 iki 60 V, kad malsimalizuoti efektyvumą elektronų jonizacijos dujose. Magnetinis laukas yra aprūpintas (padidintas elektronų efektyvumas jonizacijoje) ir tai suteikia elektronų trajektorijai didesnę tikimybę jonų susidūrimo. Argono dujose esant 10toru spaudimo vyksta elektronų jonizacija. Anodo kameroje telpa tanki argono plazma turinti Ar+ jonų ir elektronų. Tikslumo tinklelis išrenka ir fokusuoja jonus argono plazmoje. Pirmosis tinklelis neleidžia judėti elektronams tinklelio sistemoje, išrenka ir fokusuoja argono jonus daug kartų vizuotame pluošte, ir potencialas taikomas tarp tinklelių, lemia energijos greitėjimą jonuose. Jono pluošto jėga, tai greičio funkcija pasiekta šiluminis jonų tinklelio apvalkale, kuris posūkyje būna šaltinio generacijos plazmos tankio funkcija. Taigi jono pluoštas išrenka tinkamą įtampą tarp katodo ir anodo, kurie gamina jonizuotas dujas.
Pluoštas yra neutralus karštam siūleliui, kuris emituja elektronus tinklelio taikinio pusėje ir tokiu būdu balansuoja jonų greičio gavimą, be to elektronai pasluosnyje neleisdžia paviršiui apsikrauti.
Ėsdinimo greitis prieš pluošto kampą
Ėsdinimo greitis įvairių medžiagų jonų frezavime žymiai kinta ir yra svarbesnė funkcija pluošto kampo kritime, tai pavaizduota 1.2. pav.
Pav. 1.2 Kampo priklausomybė nuo ėsdinimo greičio
Pastaba: kampe 40° arba mažesniame, jei AZ-1350J priešinasi yra būtina naudoti kaukė, kad nuimti kitas medžiagas. Ėsdinimo grečiai, angstremas per minutę, duoti lentelėje 1.1 daugeliui jono pluošto ėsdinimui medžiagų.
Lentelė 1.1 Jonų ėsdinimo greitis pluošto ėsdinime
Taikomos m edžiagos
Ėsdinimo...

Daugiau informacijos...

★ Klientai rekomenduoja

Šį rašto darbą rekomenduoja mūsų klientai. Ką tai reiškia?

Mūsų svetainėje pateikiama dešimtys tūkstančių skirtingų rašto darbų, kuriuos įkėlė daugybė moksleivių ir studentų su skirtingais gabumais. Būtent šis rašto darbas yra patikrintas specialistų ir rekomenduojamas kitų klientų, kurie po atsisiuntimo įvertino šį mokslo darbą teigiamai. Todėl galite būti tikri, kad šis pasirinkimas geriausias!