Ėsdinimo procesai

Purškiamas ėsdinimas. Purškiamas ėsdinimas išsprendžia kai kurias izotropijos problemas atsirandančias panardinamajame ėsdinime, nukreipdamas ėsdinimą į padėklą ir prasiskverbdamas per oksido ar metalo sluoksnį daug didesniu greičiu už horizontalaus ėsdinimo greitį. Cirkuliacinėje kanalo sistemoje aiškus kanalo dydis leidžia beveik visišką ėsdinimo greičio vienodumą nepaisant koncentracijos pokyčio.
Litografijos procesas nustato ėsdinimo lygį apibrėždamas, kur įvairiuose puslaidinikio sluoksniuose turėtų būti patalpintos struktūros. Pagrindinis ėsdinimo proceso reikalavimas yra tikslus ir pakartotinis formos perkėlimas į ploną plėvelės sluoksnį po atspatumo kauke. Formos perkėlimas vykdomas su tam tikro laipsnio ėsdinimo nuolydžiu. 11.6pav. parodo skirtumus ėsdinant langus ir saleles puslaidininko sluoksnyje. Erdvinio valdymo palaikymas yra kritinis ėsdinimo technologijos aspektas ir yra viena priežasčių kodėl sausas ėsdinimas pakeičia šlapią ėsdinimą.
11.6pav. Šlapio ėsdinimo išpjovos vaizdas iš šono: erdvinės kontrolės problema (a)
Tikslus ir atgaminamas formos perkėlimas yra tik vienas iš ilgo sąrašo sauso ėsdinimo technologijos reikalavimų. Toliau pateiktas sąrašas trumpai aprašo šiuos kriterijus tipiniame gamybos procese.
1. Tikslumas/pakartotinumas. Kaukės matmenų (dydžio) atgaminimas turi būti tikslus ir pakartotinas. CD specifikacijos procesas identifikuoja kaukės-padėklo reikalingą nuolydį; padėklo-į-padėklo atgaminamumas (dauginimas) turėtų būti mažiau nei 3,5%.
2. Vienodumas. Ėsdinimo vienodumas per padėklą turi būti aukštas (dazniausiai mažiau nei 5%).
3. Atrenkamumas. Ėsdinimo atrenkamumas per padėklą turi būti aukštas; jis kinta nuo 7:1 iki 30:1. Kuo didesnis atrenkamumas ar kontrastas, tuo geriau.
4. Nuolydžio kampo parinkimas. Šoninės sienos kampo parinkimas (0o-45o) turėtų būti tam kad leistų kontroliuojamo nuolydžio ėsdinimą. Skirtingi nuolydžio kampai reikalingi skirtingiems proceso žingsniams.
5. Operatoriaus ir aplinkos saugumas. Ėsdinimo procesas turi būti suderinamas su operatoriaus saugumu, augalų saugumu ir aplinkos saugumo reguliavimu. Tai apima ir visas chemines, radiacines bei mechanines liekanas abiejoms sistemoms: vartotojams ir aplinkai.
6. Radiacinis pakenkimas. Radiacija, naudojama ėsdinimo procese neturi pakenkti prietaisams.
7. Šiluminiai iškraipymai. Atsirandantys šiluminiai poveikiai turi būti pakankamai žemi, tiek kad būtų suderinami su šilumos atsparumo srove taip pat kaip padėklo iškraipymo ribos.
8, Išlaidos. Padėklas turi būti pakankamas aukštos kokybės kad patenkintų ekonominius...

Daugiau informacijos...

★ Klientai rekomenduoja

Šį rašto darbą rekomenduoja mūsų klientai. Ką tai reiškia?

Mūsų svetainėje pateikiama dešimtys tūkstančių skirtingų rašto darbų, kuriuos įkėlė daugybė moksleivių ir studentų su skirtingais gabumais. Būtent šis rašto darbas yra patikrintas specialistų ir rekomenduojamas kitų klientų, kurie po atsisiuntimo įvertino šį mokslo darbą teigiamai. Todėl galite būti tikri, kad šis pasirinkimas geriausias!