Vakuuminių dangų panaudojimo sritys

Vakuuminė įranga didele apimtimi pasidarė reikalinga, kad būtų galima gauti aukštą vakuumą mažų matmenų įrenginiuose ir aparatuose. Vystantis vakuuminiai technikai tapo aišku, kad dujų išsiskyrimas iš įvairių medžiagų, iš kurių pagamintos atskiros detalės, maišo gauti aukštą vakuumą prietaisuose. Iš tikrųjų: pašalinus dujų molekules iš prietaiso tūrio, kitos molekulės išsiskiria iš prietaiso detalių ir papuola į tūrį. Šios dujos būna iškasamose rūdose ir , be to, papuola į metalus iš atmosferos įvairių technologinių procesų metu. Atrodytų pats paprasčiausiais būdas to išvengti yra atlikti vakuume visas technologinius procesus susijusius su metalų kaitinimu. Įrenginys technologiniams procesams vakuume vadinamas vakuuminiu technologiniu įrengimu.
Buvo bandymų sukurti netgi visą metalurgijos gamybą vakuuminiuose ar pripildytuose inertinių dujų patalpose. Žmonės tokiuose cechuose dirbtų su specialiais skafandrais, primenančiais astronautų. Tačiau plačiai ši gamyba nebuvo vykdoma – viena iš priežasčių, labai brangi ir sudėtinga jų organizacija. Bet atskiri technologiniai procesai vykdomi. Pagrinde šie procesai susiję su dideliu lengvai besioksiduojančių metalų kaitinimu: volframo, molibdeno, tantalo, titano lydymas, suvirinimas, pjovimas elektroniniu ar lazeriniu spinduliu. Be to, vakuume vykdomas metalinių detalių valymas, stipriai šildant ar perlydant metalus.
Svarbią vietą technologiniuose procesuose vakuume užima formuojamos dangos parametrų kokybės kontrolė (formavimosi greitis, dangos storis, jo tolygumas, priemaišų kiekis ir t.t). ji gali būti vykdoma specialiais įrengimais ir gali būti atliekama tiek proceso metu, tiek jam pasibaigus.
2. joninio dulkinimo.
Pirmuoju atveju naudojami garintuvai su rezistyviniu ar elektroninio spindulio garinimu, o antruoju atveju – diodinio ar magnetroninio dulkinimo sistemos.
Šių metodų realizavimui sukurti periodinio ar nepertraukiamo veikimo specialūs įrengimai. Taip pat naudojami įrengimai, kuriais galima formuoti keletą skirtingų sluoksnių pagal sudėtį ar savybes, tam naudojant skirtingus garinimo šaltinius viename technologiniame cikle.
Dangų formavimo metu vyksta trys pagrindiniai procesai:
1. nusodinamų medžiagos dalelių srauto generacija;
2. dalelių perlėkimas išretintoje vakuumu erdvėje nuo jų šaltinio iki formuojamo paviršiaus;
3. dalelių nusodinimas.
Taigi vakuuminiai įrengimai plonų dangų formavimui susideda iš sekančių pagrindinių elementų:
1. nusodinamos medžiagos dalelių generacijos šaltinio;
2. vakuuminės...

Daugiau informacijos...

★ Klientai rekomenduoja

Šį rašto darbą rekomenduoja mūsų klientai. Ką tai reiškia?

Mūsų svetainėje pateikiama dešimtys tūkstančių skirtingų rašto darbų, kuriuos įkėlė daugybė moksleivių ir studentų su skirtingais gabumais. Būtent šis rašto darbas yra patikrintas specialistų ir rekomenduojamas kitų klientų, kurie po atsisiuntimo įvertino šį mokslo darbą teigiamai. Todėl galite būti tikri, kad šis pasirinkimas geriausias!