Vystantis elektronikos pramonei, elektrinės schemos tampa vis sudėtingesnės, o radioelektroniniai prietaisai atlieka vis daugiau funkcijų. Padidinti šių prietaisų patikimumui ir sumažinti jų gabaritams bei energijos sąnaudoms, panaudojami integriniai grandynai. Integriniai grandynai gaminami taikant daugelį sudėtingų technologinių procesų. Vienas tokių procesų yra terminė difuzija.
Viena kone svarbiausių radioelektroninės aparatūros grandžių yra filtrai. Pastaruoju metu vis labiau populiarėja paviršinių akustinių bangų (PAB) filtrai. PAB filtrai įgijo pripažinimą dėl jų gerų selektyviųjų savybių bei mažų gabaritų, kas ypač svarbu taikant juos integriniuose grandynuose.
Šiame darbe aptarsiu terminės difuzijos procesą, jo parametrų priklausomybę nuo laiko ir temperatūros, pn sandūros gylio priklausomybę nuo temperatūros, o taip pat priemaišų pasiskirstymą tranzistoriuje.
Antroje dalyje aptarsiu akustinio bangų filtro projektavimą. Išnagrinėsiu šio filtro sandarą, jo sudarymo metodiką, bei dažninę amplitudės charakteristiką, pagal kurią nustatomas filtro pralaidumo juostos plotis.
Difuzija (lot. diffusio - sklidimas) vadinamas kryptinis medžiagos sklidimas koncentracijos mažėjimo kryptimi dėl jos dalelių chaotiškojo judėjimo. Gaminant puslaidininkinius prietaisus ir puslaidininkines integralines schemas, difuzijos reiškinys panaudojamas puslaidininkinių legiravimui. Įvedus, aukštoje temperatūroje, difuzijos būdu į paviršinį puslaidininkio sluoksnį priemaišų, galima pakeisti to sluoksnio laidumo tipą arba sudaryti lokalines kitokio laidumo tipo sritis.
Terminė priemaišų difuzija vyksta dėl difunduojančios medžiagos – difuzanto – koncentracijos gradiento.
Priemaišų atomai į kietuosius kūnus gali skverbtis keliais būdais: užimdami vakansijas, prasisprausdami tarp mazgų ir pasikeisdami vietomis su gretimais atomais (1pav.).
ir pasikeičiant vietomis su gretimais puslaidininkio atomais (c)
Tikimiausias yra pirmasis priemaišų atomų difuzijos mechanizmas, kur aukštoje temperatūroje vakansijų gali būti gana daug. Jos atsiranda kaip Šotkio arba Frenkelio defektai. Kylant temperatūrai, vakansijų koncentracija auga, priemaišų atomų skverbimosi per vakansijas tikimybė didėja. Beje, reikia pastebėti, kad didėjant prasiskverbusių į padėklą priemaišų koncentracijai ir dėl to mažėjant vakansijų koncentracijai, svarbesnis pasirodo antras priemaišų skverbimosi kelias – per tarpmazgius. Mažiausiai tikėtinas trečiasis priemaišų skverbimosi būdas, nes gretimi atomai gardelės mazguose gali pasikeisti vietomis tik gavę gana didelę energiją.
Difuzijos proceso greitį apibūdina difuzijos koeficientas. Terminis priemaišų...

Daugiau informacijos...

★ Klientai rekomenduoja

Šį rašto darbą rekomenduoja mūsų klientai. Ką tai reiškia?

Mūsų svetainėje pateikiama dešimtys tūkstančių skirtingų rašto darbų, kuriuos įkėlė daugybė moksleivių ir studentų su skirtingais gabumais. Būtent šis rašto darbas yra patikrintas specialistų ir rekomenduojamas kitų klientų, kurie po atsisiuntimo įvertino šį mokslo darbą teigiamai. Todėl galite būti tikri, kad šis pasirinkimas geriausias!