Puslaidininkinių mikroschemų gamybos procesų tyrimas

Išnagrinėti puslaidininkinių mikroschemų gamybos procesus,išmokti modeliuoti terminės priemaišų difuzijos procesą.
1) Apskaičiavome kaip priemaišų įterpimo etape kinta priemaišų srauto tankis ir legiravimo dozė:
Pradiniai parametrai:
Difuzijos koeficientas (cm2/s)
10-13
Priemaišų koncentracija (1/cm3)
71020
2 pav. J(t) – difuzijos srauto tankio priklausomybė nuo laiko
3 pav. Q(t) – legiravimo dozės priklausomybė nuo laiko
3) Apskaičiavome priemaišų pasiskirstymą po priemaišų perskirstymo etapo:
Pradiniai parametrai:
Legiravimo dozė (1/cm2)
1013
Difuzijos koeficientas (cm2/s)
10-13
Proceso trukmė (min.)
10;18;89
4 pav. Priemaišų pasiskirstymas, kai difuzijos šaltinis ribotas
4) Ištirti ir nubraižyti priemaišų įterpimo ir perskirstymo temperatūrų nuokrypių įtaką pn sandūros gyliui.
Pradiniai duomenys:
Pradinė priemaišų koncentracija (1/cm3)
71020
Stadijos
Įterpimas
Perskirstymas
Priemaišų koncentracija (1/cm3)
11019
-
Nominali temperatūra (0C)
1000
1000
Difuzijos koeficientas (cm2/s)
10-13
10-13
Aktyvacijos energija (eV)
3,8
4,6
Stadijos trukmė (min)
25
70
Faktinė temperatūra (0C)
902
1100
5 pav. Pn...

Daugiau informacijos...

★ Klientai rekomenduoja

Šį rašto darbą rekomenduoja mūsų klientai. Ką tai reiškia?

Mūsų svetainėje pateikiama dešimtys tūkstančių skirtingų rašto darbų, kuriuos įkėlė daugybė moksleivių ir studentų su skirtingais gabumais. Būtent šis rašto darbas yra patikrintas specialistų ir rekomenduojamas kitų klientų, kurie po atsisiuntimo įvertino šį mokslo darbą teigiamai. Todėl galite būti tikri, kad šis pasirinkimas geriausias!