Puslaidininkinių integrinių grandynų gamybos procesų modeliavimas ir analizė

1. Darbo tikslas Išnagrinėti puslaidininkinių integrinių grandynų gamybos procesus, išmokti modeliuoti terminės priemaišų difuzijos procesą. 2. Pradiniai duomenys Difuzijos koeficientas: Proceso trukmė: 21, 11, 9 min. 3. Skaičiavimų rezultatai 3.1 Difuzija iš begalinio šaltinio; difuzinio profilio tyrimas t1 = 21 min; t2 = 11 min; t3 = 9 min. Rezultatas — 1 pav. 3.2 Difuzinio srauto ir legiravimo dozės skaičiavimas, kai difuzijos šaltinis begalinis Rezultatas — 2, 3 pav. 3.3 Difuzinio profilio skaičiavimas, kai difuzija vyksta iš baigtinio šaltinio t1 = 39 min; t2 = 15 min; t3 = 28 min. Rezultatas — 4 pav. 3.4 Priemaišų pasiskirstymas tranzistoriuje, formuojamame dvikartės difuzijos būdu Įterpimo stadija Perskirstymo stadija Įterpimo stadija Priemaišų koncentracija (1/cm3) 2 1019 - 3 1021 Nominali temperatūra oC 1000 1000 1000 Aktyvacijos energija (eV) 3.9 4.1 3.6 Difuzijos koeficientas (cm2/s) 10-13 2 10-13 3 10-13 Stadijos trukmė (min) 32 68 27 Faktinė temperatūra (oC) 992 1056 969 Rezultatas — 5 pav. 5. Išvados Iš 1 pav. matyti, kad vykstant difuzijai iš neišsenkančio šaltinio, priemaišų koncentracija mažėja einant gilyn nuo bandinio paviršiaus, be to, ji priklauso nuo proceso trukmės: kuo ji ilgesnė, tuo didesnė priemaišų koncentracija (tai ypač išryškėja gilesniuose bandinio sluoksniuose). Iš 2 pav. matome, jog iki tam tikro difuzijos laiko (~5 min) priemaišų atomų srauto tankis didėja beveik tiesiškai, o po to mažėja pagal atvirkštinę priklausomybę, tuo tarpu, legiravimo dozė iš pradžių didėja staigiai, o vėliau pamažu (3 pav.). Kuomet difuzija vyksta iš baigtinio šaltinio, vienodame puslaidininkio plokštelės gylyje priemaišų koncentracija yra tuo didesnė, kuo mažesnis bandinio gylis ir kuo didesnė yra sandauga (Dt) (4 pav.). Iš 5 pav. matome, jog gautojo npn struktūros tranzistoriaus paviršiuje vyrauja donorinės priemaišos koncentracija, kuri einant gilyn mažėja. Tam tikrame gylyje (~ 1 m) ji yra minimali ir ND

Daugiau informacijos...

★ Klientai rekomenduoja

Šį rašto darbą rekomenduoja mūsų klientai. Ką tai reiškia?

Mūsų svetainėje pateikiama dešimtys tūkstančių skirtingų rašto darbų, kuriuos įkėlė daugybė moksleivių ir studentų su skirtingais gabumais. Būtent šis rašto darbas yra patikrintas specialistų ir rekomenduojamas kitų klientų, kurie po atsisiuntimo įvertino šį mokslo darbą teigiamai. Todėl galite būti tikri, kad šis pasirinkimas geriausias!